جزوه درس تئوری و تکنولوژی ساخت ادوات نیمه هادی دانشگاه خواجه نصیر استاد: فرامرز حسین بابایی این جزوه به صورت تایپی، در فرمت PDF و در 591 صفحه تهیه شده است. زمان تهیه این جزوه به سال 89 برمیگردد اما مطالب درسی در عموم دانشگاه های کشور با سرفصل های این جزوه تطابق کاملی دارد. فهرست فصول: 1- ساختار جامدات 2- سیلیکون از معدن تا صنعت الکترونیک 3- رشد بلور 4- آماده سازی ویفر 5- اکسیداسیون 6- زدایش 7- فرآیند نفوذ 8- کاشت یون 9- لیتوگرافی کلاسیک 10- لیتوگرافی پیشرفته 11- Metallization 12- بسته بندی ...